今天，記者從國防科技大學(xué)了解到，機電工程及自動(dòng)化學(xué)院自主研發(fā)的新一代超精密光學(xué)配件加工設備已通過(guò)相關(guān)單位組織的工藝評定。結果表明，該套設備的加工精度達到了亞納米水平的重大突破，典型試件光學(xué)零件的均方根方根值達到了0.361 nm，表明我國超精密光學(xué)零件加工技術(shù)已進(jìn)入[敏感詞]行列。

超精密加工技術(shù)是先進(jìn)裝備制造的關(guān)鍵瓶頸技術(shù)，而納米精度被譽(yù)為超精密加工技術(shù)的“皇冠上的寶石”。過(guò)去，由于我國光學(xué)零件加工技術(shù)落后，無(wú)法加工大直徑、高精度、復雜表面形狀的光學(xué)配件，嚴重制約了相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)步。自20世紀80年代以來(lái)，在李圣怡，教授的領(lǐng)導下，經(jīng)過(guò)30多年的頑強拼搏和自主創(chuàng )新，大學(xué)精密工程創(chuàng )新團隊突破了高精度機床精密運動(dòng)機構設計、高效磁流變拋光液制備、離子束穩定控制、光學(xué)元件亞納米全波段誤差控制等核心關(guān)鍵技術(shù)。開(kāi)發(fā)了一系列具有自主知識產(chǎn)權的磁流變和離子束拋光設備，打破了發(fā)達[敏感詞]對超精密加工設備的技術(shù)封鎖，使中國成為繼美和德之后掌握兩項高精密光學(xué)配件加工技術(shù)的[敏感詞]。

近年來(lái)，在[敏感詞]重大科技專(zhuān)項“大規模集成電路制造設備及完整工藝”和[敏感詞]自然科學(xué)基金的支持下，該大學(xué)精密工程創(chuàng )新團隊成功研制出新一代離子束拋光機床和數控光順拋光機床，小可控材料去除量為0.1 nm。相關(guān)專(zhuān)家指出，這一自主創(chuàng )新成果可以為“大規模集成電路制造設備及成套工藝”、“高分辨率地球觀(guān)測系統”等[敏感詞]重大科技項目提供強有力的技術(shù)支持和設備支持，并將直接推動(dòng)相關(guān)領(lǐng)域的關(guān)鍵技術(shù)突破，對提高我國先進(jìn)裝備制造水平具有重要意義。